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刻蚀装备翻新改造

包含PECVD、干法刻蚀等一系列集成电路生产用刻蚀设备。包括包括AMAT/NOVELLUS/LAM主流设备,翻新内容包括:
干泵翻新
分子泵翻新
射频源翻新
MFC、Robot & Slide Valve 翻新
更换全新Process kit、O-ring & 过滤器
设备清洁及部件润滑
排线整理或更换

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